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活性試驗(yàn)水蒸氣發(fā)生器分為小試裝置和大中試裝置。小試裝置主要作為實(shí)驗(yàn)室設(shè)備使用，其液體水流量達(dá)10-80g/min。大中試裝置流量大，主要應(yīng)用于量產(chǎn)，其液體水流量達(dá)12-48kg/h。

實(shí)驗(yàn)室蒸汽發(fā)生器通過精密計(jì)量泵控制進(jìn)液量，經(jīng)相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。自主研發(fā)的相變汽化模塊優(yōu)勢：蒸發(fā)混合穩(wěn)定并有非常寬的蒸發(fā)范圍。

蝕刻蒸汽發(fā)生器通過精密計(jì)量泵控制進(jìn)液量，經(jīng)相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。自主研發(fā)的相變汽化模塊優(yōu)勢：蒸發(fā)混合穩(wěn)定并有非常寬的蒸發(fā)范圍。

晶圓清洗蒸汽發(fā)生器通過精密相變汽化模塊將液體先分散成液膜再進(jìn)行換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，水蒸氣通過高溫耐腐蝕預(yù)熱器將水蒸氣的溫度升至100℃-800℃，可以穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。

陽極氧化膜層蒸汽封閉用蒸汽發(fā)生器通過精密相變汽化模塊將液體先分散成液膜再進(jìn)行換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，水蒸氣通過高溫耐腐蝕預(yù)熱器將水蒸氣的溫度升至100℃-800℃，可以穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。

干法去膠水蒸汽發(fā)生器通過精密計(jì)量泵控制進(jìn)液量，經(jīng)相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。自主研發(fā)的相變汽化模塊優(yōu)勢：蒸發(fā)混合穩(wěn)定并有非常寬的蒸發(fā)范圍。