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活性試驗(yàn)水蒸氣發(fā)生器分為小試裝置和大中試裝置。小試裝置主要作為實(shí)驗(yàn)室設(shè)備使用，其液體水流量達(dá)10-80g/min。大中試裝置流量大，主要應(yīng)用于量產(chǎn)，其液體水流量達(dá)12-48kg/h。

實(shí)驗(yàn)室蒸汽發(fā)生器通過精密計(jì)量泵控制進(jìn)液量，經(jīng)相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。自主研發(fā)的相變汽化模塊優(yōu)勢(shì)：蒸發(fā)混合穩(wěn)定并有非常寬的蒸發(fā)范圍。

氣氛爐水蒸氣發(fā)生器出口溫度可調(diào)節(jié)范圍廣，100~1000℃，蒸氣流量精度高，可達(dá)±1%，蒸氣氣態(tài)流量可從1mL/min~1000L/min可選，液態(tài)水蒸發(fā)量可從0.5uL/min~1000mL/min可選。

潔凈蒸汽發(fā)生器內(nèi)置高效過濾器，實(shí)現(xiàn)了蒸汽品質(zhì)的跨越式提升，適配對(duì)雜質(zhì)零容忍的精密生產(chǎn)與科研場(chǎng)景。

半導(dǎo)體行業(yè)專用水蒸氣發(fā)生器通過精密計(jì)量泵控制進(jìn)液量，經(jīng)相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。自主研發(fā)的相變汽化模塊優(yōu)勢(shì)：蒸發(fā)混合穩(wěn)定并有非常寬的蒸發(fā)范圍。

水蒸氣發(fā)生器連接回轉(zhuǎn)爐出口溫度可調(diào)節(jié)范圍廣，100~1000℃，蒸氣流量精度高，可達(dá)±1%，蒸氣氣態(tài)流量可從1mL/min~1000L/min可選，液態(tài)水蒸發(fā)量可從0.5uL/min~1000mL/min可選。