晶圓CVD專用濕度發(fā)生器

晶圓CVD專用濕度發(fā)生器是一款兼具便攜式結(jié)構(gòu)與高精度計量性能的溫濕度校準儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規(guī)溫濕度測量儀表的計量校準需求。

技術(shù)優(yōu)勢

• 實驗室和便攜就地校準

可以更加快捷、簡便的校準濕度測量儀器、探頭以及濕度數(shù)據(jù)記錄儀，成為實驗室和便攜的校準方案。

• 更大的測量腔室
  

采用更大的測量腔室設(shè)計，艙門可以容納更多的傳感器或探頭同時測量。標準情況下可容納4-5只探頭同時測量，也可容納體積較大的無探頭濕度變送器或濕度記錄儀放置在腔室內(nèi)測量。

• 較寬的工作范圍

擁有獨立溫度和濕度發(fā)生器，熱伺服系統(tǒng)可在5~50℃內(nèi)提供穩(wěn)定溫度(20°C環(huán)境溫度下)。干燥和加濕系統(tǒng)可以保障相對濕度快速穩(wěn)定在5~95 %RH之間。

產(chǎn)品特點

測試腔容積達同類產(chǎn)品的3-5倍，為校準作業(yè)提供高效的環(huán)境支撐。

測試腔可容納各種類型的投入式冷鏡面露點儀探頭，便于展開比對校準工作。

采用組合式傳感器插孔設(shè)計，可適配不同直徑規(guī)格的溫濕度傳感器及變送器。

測量室配備透明窗口及照明裝置，便于各類小型溫濕度表的讀數(shù)操作。

支持同時對4-5支小型溫濕度探頭實施校準。

支持同時對3-5塊常規(guī)尺寸數(shù)字溫濕度表實施校準。

測試腔在 5°C-50°C全量程范圍內(nèi)，溫度均勻性優(yōu)于0.1°℃。

雙區(qū)域干燥筒可同時支持分子篩和變色硅膠兩種干燥劑。

具備直觀的液位顯示與干燥器狀態(tài)指示功能，便于工作狀態(tài)的實時監(jiān)控。

配置 4 通道外部標準信號輸入功能，支持(0-5)V和(4-20)mA 標準信號接入儀器。

內(nèi)置濕度換算軟件，方便用戶進行相對濕度、溫度和露點溫度換算。

支持溫濕度曲線顯示，方便用戶查看溫濕度狀態(tài)趨勢。

搭載7寸彩色液晶觸摸屏，支持RS485等多種通信接口。