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億科 微型水蒸氣發(fā)生器 流量控制穩(wěn)定蒸發(fā)流量控制精度達(dá)到1.5%，較傳統(tǒng)的轉(zhuǎn)子流量計(jì)精度(+/-5%以上)高出很多，確保混合氣體輸出濃度波動(dòng)小，精度高。

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